六氟化硫氣體以其高耐電強度及良好的熱穩定性能，被廣泛應用于高壓電氣設備中。六氟化硫氣體的化學性質極為穩定。純凈的六氟化硫氣體是無毒的，但在大電流開斷時，由于強烈的電弧放電會產生一些含硫的低氟化物。這些物質反應能力較強，當有水和氧氣時又會與電極材料、水份進一步反應，從而分解產生有毒或劇毒氣體。
電器設備內的六氟化硫氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產物。如與含有硅成分的環氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產物。這些有毒氣體主要損害人體的呼吸系統，中毒后會出現類似于感冒、皮膚過敏、惡心嘔吐、疲勞等不良反應，吸入劑量大時，會出現更加嚴重的后果。因此，在對SF6設備檢修和試驗時應做好以下五大防護措施。
(1)工作現場應強力通風，檢修人員應在上風位置；
(2)配戴好防毒面具和防護手套；
(3)將排出的氣體進行回收、或用導管將氣體排入下水溝內，不宜直接向大氣排放；
(4)工間休息前或工作結束后，臉、頸、臂和手要用肥皂和大量的水徹底洗凈；
(5)如不慎接觸到劑量較大的氣體時，應立即洗凈，更換衣服，及時去醫院觀察治療。
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