SF6定性檢漏儀的原理：
SF6定性檢漏儀一般使用的基本上都是采用電暈原理和負電性捕獲原理。
電暈原理其基本工作方式是在探測器軟管頭部有一個微型的傳感器，傳感器采用合金鋼制造，在工作時能產生2000V左右的微電流高壓，進入軟管端部的氟類分子在高壓狀態產生不同的電信號，濃度不同，電信號不同。
負電性俘獲原理：來自于氟類分子的每月狀態的吸附力是空氣狀態的幾倍的這樣一個物理特性，在設計是讓探測器金屬軟管帶中繼電來提高氟類氣體的吸入量。
國電西高SF6檢漏儀
SF6定量檢漏儀的原理：
SF6定量檢漏儀它是利用高頻振蕩無極電離原理。電離當電離腔內部氣體中，排除SF6氣體時，由于氣體電離而使Q值下降，導致變頻器的振蕩幅值降低；當電離腔內部氣體中包含SF6氣體時，由于SF6氣體分子的電負性，因此大量的自由電子被SF6氣體分子所浮起，從而降低了電離程度，使Q值上升，振蕩器的振幅也上升，因此測量振蕩器的振幅變化，可知被試氣體中含有SF6氣體這種SF6氣體檢漏儀的測量范圍為0.01?10000ppmv，一般用于定性測量，如果預先進行定量校準，則可用于定量測量。
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